این بنا در بنافت، در ۲۴ كیلومتری مهریز یزد واقع گردیده و بنای اولیه آن، از آثار قرن ۷ ه-. ق است كه در دوره های بعد و دوره اخیر تعمیر و تجدید شده است . پوشش بنا مسطح و تیرپوش است . آثار تاریخی و مهم این مسجد ، كتیبه ای چوبی مورخ ۶۳۲ه-. ق است كه بر سردر ورودی نصب كرده اند . متن كتیبه به خط نسخ، بعد ازآیات قرآنی، عبارات ذیل است : ” المسجد المبارك الموضع الشریف محمد بن احمد بن محمد بن احمد العلوی الحسینی و استاد نجار عمر بن محمد ابوبكر مسته كذا فی تاریخ شهور سته ثانی ثلثین و سهتمائة ” . در زیر كتیب فوق، كتیبه چوبی دیگری مورخ ۹۰۳ ه-. ق نصب شده كه محتوای آن، وقف نامه ای است . ستون های شبستان مسجد، سنگی و دارای سرستون های كنده كاری هستند . در دو لنگه مسجد نیز قدیمی است و بر آن عباراتی كنده كاری شده است .