به استناد كتیبه، تاریخ احداث مسجد ۱۰۰۷ هـ . ق. است. با دالانی طولانی كه بدنه آن گچبری شده به فضای گنبدخانه می رسیم. در این فضا نیم طبقه ای جهت خانم ها در ضلع شرقی برپا شده كه بر ستون های گچبری شده استوار است. نقشه گنبدخانه مربع است كه در پاكار تبدیل به هشت و در مركز گنبد تبدیل به نورگیر ۱۲ ضلعی شده است. تمامی سطح داخلی گنبد با مقرنسكاری و تزیینات مرسوم دوره صفویه تزیین شده است. در این مسجد كوچك اثری از تمامی هنرهای ظریفه معماری مانند گچبری، خطاطی، حجاری، كشته بری، درودگری، كاشیكاری به چشم می خورد و به همین جهت می توان آن را موزه ای از هنرهای عصر صفویه دانست. نور داخلی مسجد از نورگیرهای جانبی و سقف تأمین می شود.